| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR IMPROVING FILM STABILITY OF FLUOROSILICATE GLASS FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10199873(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
| 申请号 |
JP19970292781 |
申请日期 |
1997.10.24 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
MOHAN K BAN;SUDAHAKER SUBURAMANIAM;ANAND GUPTA;BIRENDORA V S RANA |
| 分类号 |
H01L21/31;C23C16/40;C23C16/505;C23C16/52;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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