| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR WHITE POWDER REDUCTION IN SILICON NITRIDE DEPOSITION USING REMOTE PLASMA SOURCE CLEANING TECHNOLOGY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10199874(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
| 申请号 |
JP19970324651 |
申请日期 |
1997.11.26 |
| 申请人 |
APPLIED KOMATSU TECHNOL KK |
发明人 |
KUANYUAN SHAN;ROBERT M ROBERTSON;KAM S ROU;DAN MEIDAN |
| 分类号 |
B08B7/00;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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