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发明名称 Charged particle beam apparatus
摘要
申请公布号 GB2321555(A) 申请公布日期 1998.07.29
申请号 GB19980001512 申请日期 1998.01.23
申请人 * HITACHI LIMITED 发明人 KATSUHIKO * SAKAI
分类号 H01J37/20;H01J37/02;H01J37/147;(IPC1-7):H01J37/02 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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