| 发明名称 |
Thermal treatment device for semiconductor substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0653779(B1) |
申请公布日期 |
1998.07.29 |
| 申请号 |
EP19940117314 |
申请日期 |
1994.11.03 |
| 申请人 |
DAIMLER-BENZ AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KIBBEL, HORST |
| 分类号 |
C23C16/46;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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