尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌在钛酸钡薄膜中的制备方法

摘要

本发明公开了一种尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌在钛酸钡薄膜中的制备方法:先制备复合靶,再处理基底,及进行溅射,最后是热处理。本发明通过调整银片在复合靶中所占面积,实现对纳米级银颗粒尺寸的控制。本发明制备的复合膜中银颗粒大小一致,均在纳米量级,平均粒径为8～70纳米。用本发明方法制备的产品,能与半导体硅片兼容。所以,不仅可用于微电子器件集成电路中,还可用于非线性光学器件及量子器件中。

主权项

1.一种尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌在钛酸钡薄膜中的制备方法，其特征是，采用银和钛酸钡的复合靶，在氩气压为2×10-2托，溅射功率范围为100～150瓦的条件下进行溅射；基底可采用抛光的硅单晶片、石英光学玻璃片及新解理的氯化钠单晶片；溅射其间基底不加热，可得到纳米级银颗粒均匀镶嵌在非晶钛酸钡中的复合薄膜；对所得薄膜进行退火处理，使非晶钛酸钡晶化，可得到纳米级银颗粒镶嵌在多晶钛酸钡中的复合薄膜；通过调整复合靶上银片所占面积，可实现对复合膜中银颗粒数量及尺寸的控制。