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发明名称 SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10195647(A) 申请公布日期 1998.07.28
申请号 JP19970002777 申请日期 1997.01.10
申请人 SONY CORP 发明人 WATABE YASUSHI
分类号 C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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