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发明名称 SPRAY ETCHING METHOD AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH10195677(A) 申请公布日期 1998.07.28
申请号 JP19960357833 申请日期 1996.12.27
申请人 SUZUKI KENGO 发明人 SUZUKI KENGO
分类号 C23F1/08;H01L21/304;H01L21/306;H05K3/06;(IPC1-7):C23F1/08 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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