发明名称 GROWTH OF CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH10194899(A) 申请公布日期 1998.07.28
申请号 JP19970004411 申请日期 1997.01.14
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 FUJIWARA SHINSUKE
分类号 C30B23/00;C30B29/48;H01L21/203;H01L21/363;H01L21/365;(IPC1-7):C30B29/48 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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