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发明名称 Kontaktstrukturen für Halbleiteranordnungen und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE69128568(T2) 申请公布日期 1998.07.23
申请号 DE1991628568T 申请日期 1991.03.28
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORP., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 SOLHEIM, ALAN G., C/O A.N. SOLHEIM, OUTLOOK, SASKATCHEWAN SOL2NO, CA
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/41;H01L29/45;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/41;H01L21/824;H01L21/60 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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