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发明名称
摘要
申请公布号 JP2779968(B2) 申请公布日期 1998.07.23
申请号 JP19890342276 申请日期 1989.12.29
申请人 TOTO KIKI KK 发明人 TATENO NORIAKI;OKAMOTO OSAMU;TSURUTA SHOICHI;IZUHATA YUKIO
分类号 B23Q3/08;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B23Q3/08 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
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