发明名称 Verfahren zur Herstellung von Mikromembranpumpen
摘要
申请公布号 DE4402119(C2) 申请公布日期 1998.07.23
申请号 DE19944402119 申请日期 1994.01.25
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 76133 KARLSRUHE, DE 发明人 BUESTGENS, BURGKARD, 76187 KARLSRUHE, DE;STERN, GERHARD, 76327 PFINZTAL, DE;KELLER, WOLFGANG, DR., 76707 HAMBRUECKEN, DE;SEIDEL, DIETER, DR., 76344 EGGENSTEIN-LEOPOLDSHAFEN, DE;MAAS, DIETER, 68723 OFTERSHEIM, DE
分类号 F16K7/17;B81B3/00;F04B43/02;F04B43/04;F04B43/06;(IPC1-7):F04B43/04 主分类号 F16K7/17
代理机构 代理人
主权项
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