发明名称 METHOD FOR FORMING A LITHOGRAPHIC PATTERN IN A PROCESS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP0634028(B1) 申请公布日期 1998.07.22
申请号 EP19930912115 申请日期 1993.03.29
申请人 MICROUNITY SYSTEMS ENGINEERING, INC. 发明人 CHEN, JANG, FUNG;MATTHEWS, JAMES, A.
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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