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发明名称
METHOD FOR FORMING A LITHOGRAPHIC PATTERN IN A PROCESS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
EP0634028(B1)
申请公布日期
1998.07.22
申请号
EP19930912115
申请日期
1993.03.29
申请人
MICROUNITY SYSTEMS ENGINEERING, INC.
发明人
CHEN, JANG, FUNG;MATTHEWS, JAMES, A.
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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