发明名称 Process for forming a self-aligned raised source/drain MOS device and device therefrom
摘要
申请公布号 EP0810647(A3) 申请公布日期 1998.07.22
申请号 EP19970107546 申请日期 1997.05.07
申请人 HARRIS CORPORATION 发明人 FULLER, ROBERT T.
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/60 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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