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发明名称 Laser beam irradiation device for a disk-shaped substrate
摘要
申请公布号 EP0768650(A3) 申请公布日期 1998.07.22
申请号 EP19960115283 申请日期 1996.09.24
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HENSEL, BERND;HOFMANN, FRIEDRICH;KOOP, HERMANN, DR.;KAISER, PAUL;RICHTER, FRANZ, DR.
分类号 G11B7/085;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/095;G01B11/02;G11B7/09 主分类号 G11B7/085
代理机构 代理人
主权项
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