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发明名称 3-step etching for contact window
摘要
申请公布号 GB9811203(D0) 申请公布日期 1998.07.22
申请号 GB19980011203 申请日期 1998.05.27
申请人 HUALON MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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