| 发明名称 |
Fabrication method of high-porous layers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0826432(A3) |
申请公布日期 |
1998.07.22 |
| 申请号 |
EP19970114234 |
申请日期 |
1997.08.18 |
| 申请人 |
FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH |
发明人 |
BUSENBENDER, ILONA |
| 分类号 |
B05D5/00;C03C17/00;C03C17/25;C04B38/00;C04B38/02;C04B41/45;C23C24/08;(IPC1-7):B05D5/00;H01L31/18 |
主分类号 |
B05D5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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