发明名称 薄膜
摘要 本发明能提供一种薄膜,其在薄膜框之内侧上具有黏性层,该黏性层对外来物质如悬浮于薄膜与掩膜所界定的空间中之灰尘或污物有极佳的抓住性能,及具有耐短波长光如激元光束之特性。薄膜包括一薄膜框、一在该薄膜框一侧上拉伸的薄膜、及一形成在该薄膜框内侧上且含有油脂状含氟树脂的黏性层。
申请公布号 TW337002 申请公布日期 1998.07.21
申请号 TW086117090 申请日期 1997.11.15
申请人 三井化学股份有限公司 发明人 中山德夫
分类号 G03F1/14;H01L21/30 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种薄膜,包括一薄膜框、一在该薄膜框一侧上 拉伸的 薄膜、及一形成在该薄膜框内侧上且含有油脂状 含氟树脂 的黏性层。2.如申请专利范围第1项之薄膜,其中该 黏性层表现抓住 性能不容许以下条件(1)所抓住的外来物质在至少 条件下 飞走:(1)其中容许具有粒子直径为100至130微米且重 量 为1至3微克的外来物质由1公分高度掉落到一厚度 为3微米 的水平黏性层上,以便被黏性层所抓住;及(2)离外 来物 质之直线距离1公分处以由曲上侧45度角度施予初 压0.6kg /cm2G的风压10秒钟。3.如申请专利范围第1项之薄膜 ,其中该油脂状含氟树脂 具有重量平均分子量为1000至1500。4.如申请专利范 围第1项之薄膜,其中该油脂状含氟树脂 系一种含氟量为12至80重量%者。5.如申请专利范围 第4项之薄膜,其中该油脂状含氟树脂 包括一由下式(1)所代表的重复单元,F R| |—C — C —| |F X其中X系卤素原 子,而R系氟原子或三氟甲基。6.如申请专利范围第 1项之薄膜,其中该油脂状含氟树脂 系一种氯三氟乙烯之低聚合物。7.如申请专利范 围第1项之薄膜,其中该黏性层包括一油 脂状含氟树脂及一抑制流动性用的聚合物之混合 物,而该 油脂状含氟树脂在组成物中的含量为90至98.7重量% 。8.如申请专利范围第1项之薄膜,其中该黏性层包 括(A)油 脂状含氟树脂及(B)能形成薄膜的含氟树脂之组成 物。9.如申请专利范围第8项之薄膜,其中该黏性层 包括含(A) 油脂状含氟树脂及(B)能形成薄膜的含氟树脂之组 成物,( A):(B)之重量比为20:1至50:1。10.如申请专利范围第8 项之薄膜,其中能形成薄膜的含氟 树脂(B)之含氟量为12至80重量%。11.如申请专利范 围第8项之薄膜,其中能形成薄膜的含氟 树脂(B)系至少一种选自:全氟丁烯乙烯醚聚合物, 四氟 乙烯与全氟(2,2-二甲基-1,3-二恶茂)之共聚物,四氟 乙 烯、六氟丙烯与偏二氟乙烯之共聚物、六氟丙烯 与偏二氟 乙烯之共聚物,及氯三氟乙烯与偏二氟乙烯之共聚 物。12.如申请专利范围第1项之薄膜,其中该黏性 层之形成系 维持厚度为3至20微米。图式简单说明:第一图系本 发明 薄膜之立体图;第二图系本发明薄膜之剖面图;第 三图系 本发明薄膜之黏性层的抓住性能测试图;及第四图 系一说 明图,说明测试黏性层的抓住性能利用空气枪产生 空压之 测量方法。
地址 日本