| 主权项 |
1.一种雷射振荡器,其具有:配设于雷射管内之至少 一对之主电极;对上述主电极施加高电压之直流电 源;并构成为对上述雷射管内供给气体且使该气体 于雷射管内流通;其特征在于: 上述一对电极中,位于上述气体流通方向之下游侧 之主电极,实质上系形成为L字形,同时该主电极之 前端部系被支持于与气体之流通方向成交叉之方 向者。2.如申请专利范围第1项所述之射振荡器,其 中上述主电极系沿雷射管之轴方向顺次配设两对, 将该两对主电极之气体流通方向之最下游侧之主 电极形成为L字形者。3.依申请专利范围第1或2项 所述之雷射射振荡器,其中于上述电射管内之气体 流通方向之最上述主电极更上游之上游侧,配设呈 环状之一对预备电离用电极,又,配设有对上述预 备电离用电极施加高压之脉波或交流之高电压的 预备电离用电源。4.依申请专利范围第3项所述之 雷射振荡器,其中上述一对预备电离用电极系于雷 射管之外周面以于雷射管之轴方向维持既定间隔 之方式设置者。5.依申请专利范围第3或4项所述之 雷射振荡器,其中上述一对预备电离用电极系设于 雷射管之外周部之于轴方向隔离形成一对环状沟 内者。6.一种雷射振荡器,其具有:配设于雷射管内 之至少一对之主电极;对上述主电极施加高电压之 直流电源; 对上述雷射管内供给气体且使该气体于雷射管内 流通之气体供给手段;其特征在于: 位于流通于上述雷射管内之气体之流通方向之较 上述主电极更上游侧,配设成环状之一对预备电离 用电极,又,配设对上述预备电离用电极施加高压 脉波或交流高电压之预备电离用电源者。7.依申 请专利范围第6项所述之雷射振荡器,其中上述一 对预备电离用电极系设于雷射管之外周面以于雷 射管之轴方向维持既定间隔之方式设置者。8.依 申请专利范围第6或第7项所述之雷射振荡器,其中 上述一对预备电离用电极系设于雷射管之外周部 之于轴方向隔离形成一对环状沟内者。9.依申请 专利范围第6项所述之雷射振荡器,其中上述一对 电极中,位于上述气体流通方向之下游侧之主电极 ,实质上系形成为L字形,同时该主电极之前端部系 被支持于与气体之流通方向成交叉之方向者。10. 依申请专利范围第9项所述之雷射振荡器,其中上 述主电极系沿电射管之轴方向顺次配设两对,而该 两对主电极之位于气体流通方向之最下游侧之主 电极系形成为L字形者。图式简单说明: 第1图为本发明之一实施例之全体配置图。 第2图为第1图左侧之雷射管2之放大断面图。 第3图为第2图之III-III线之断面图。 第4图为第3图之要部放大图。 第5图为第2图之V-V线断面图。 第6图为第2图之要部放大图。 第7图为第2图之VII-VII线之断面图。 第8图为第2图之要部放大图。 第9图为本实施例与习知技术之性能之比较图。 第10图为本发明之其他实施例之断面图。 第11图为本发明之其他实施例之断面图。 第12图为第11图之要部放大断面图。 第13图为本发明之其他实施例之断面图。 第14图为第13图之要部放大断面图。 第15图为本发明之其他实施例之断面图。 |
