| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10189447(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19960350943 |
申请日期 |
1996.12.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HAYASHI MASUMI;HAZUMI KOUICHI;NANBA TAKANORI |
| 分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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