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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10189765(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960345470 申请日期 1996.12.25
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI HISAMITSU
分类号 H01L27/092;H01L21/8222;H01L21/8238;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/822 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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