| 发明名称 |
MARKING APPARATUS AND MARKING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10189791(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19960340933 |
申请日期 |
1996.12.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
OSAKA SHINGO;MAEDA TAKESHI |
| 分类号 |
H01L23/00;(IPC1-7):H01L23/00 |
主分类号 |
H01L23/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
