发明名称 DEPOSITION OF METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH10189493(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19970311349 申请日期 1997.10.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YOSHIZAWA SHUNICHI
分类号 C23C16/14;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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