| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING REVERSE WELL STRUCTURE AND PUNCH-THROUGH BARRIER USING LOW ENERGY IMPLANTATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10189475(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19970351627 |
申请日期 |
1997.12.19 |
| 申请人 |
LSI LOGIC CORP |
发明人 |
SHELDON ARONOWITZ;REICH KAHN;JAMES KIMBALL |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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