发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10189961(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960349647 申请日期 1996.12.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 HAGIWARA YOSUKE;TOMII KAZUYUKI;SUGIURA YOSHIYUKI;NAGAHAMA HIDEO;KAMAKURA SHIYOUYUU
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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