| 发明名称 |
ORGANIC METAL CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE AND METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10189561(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19970270039 |
申请日期 |
1997.10.02 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRON IND CO LTD |
发明人 |
YU YONG SIK;BAEK YONG KU;PARK YOUNG JIN;KIM JONG CHOUL |
| 分类号 |
C30B35/00;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C30B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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