发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10189575(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960355963 申请日期 1996.12.25
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 HORIO TAKUYA
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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