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发明名称 DOPING METHOD FOR NITRIDE-BASED COMPOUND SEMICONDUCTOR AND ITS MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10189451(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960343198 申请日期 1996.12.24
申请人 SHARP CORP 发明人 TERAGUCHI NOBUAKI
分类号 C30B31/06;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
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