| 发明名称 |
DEFLECTING ELECTROMAGNET FOR ION IMPLANTATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10188874(A) |
申请公布日期 |
1998.07.21 |
| 申请号 |
JP19960341425 |
申请日期 |
1996.12.20 |
| 申请人 |
NISSIN HIGH VOLTAGE CO LTD |
发明人 |
YAMADA MASAHIRO;KIMURA TOSHIO |
| 分类号 |
G21K1/093;G21K5/04;H01J37/147;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
G21K1/093 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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