发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10189519(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960341465 申请日期 1996.12.20
申请人 SONY CORP 发明人 IKEDA MASAJI
分类号 B08B3/08;B05C9/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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