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发明名称 BOARD TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH10189460(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960354526 申请日期 1996.12.19
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 IKEDA KAZUTO;YOSHIDA HISASHI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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