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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10188875(A) 申请公布日期 1998.07.21
申请号 JP19960341358 申请日期 1996.12.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMASHITA YASUO
分类号 H01J37/248;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/248
代理机构 代理人
主权项
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