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发明名称 Wafer container door
摘要
申请公布号 SG50867(A1) 申请公布日期 1998.07.20
申请号 SG19970002451 申请日期 1997.07.12
申请人 FLUOROWARE, INC. 发明人 NYSETH, DAVID, L.
分类号 B65D51/26;B65D6/40;B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/30 主分类号 B65D51/26
代理机构 代理人
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