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发明名称
Semiconductor device having anti-reflective coating and method for making the same
摘要
申请公布号
SG50524(A1)
申请公布日期
1998.07.20
申请号
SG19960003711
申请日期
1996.02.22
申请人
MOTOROLA, INC.
发明人
MANIAR, PAPU, D.;FIORDALICE, ROBERT, W.;KEMP, KEVIN, G.;ROMAN, BERNARD, J.
分类号
G03F7/004;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/28
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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