发明名称 Semiconductor device having anti-reflective coating and method for making the same
摘要
申请公布号 SG50524(A1) 申请公布日期 1998.07.20
申请号 SG19960003711 申请日期 1996.02.22
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 MANIAR, PAPU, D.;FIORDALICE, ROBERT, W.;KEMP, KEVIN, G.;ROMAN, BERNARD, J.
分类号 G03F7/004;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/28 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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