PROCEDE ET INSTALLATION D'ELABORATION D'UN MELANGE GAZEUX COMPORTANT UN GAZ PORTEUR, UN GAZ OXYDANT ET UN SILANE

摘要

L'invention concerne un procédé d'élaboration d'un mélange gazeux final comportant un gaz porteur, un gaz oxydant et un silane, à teneur déterminée en chacun des trois composants gazeux, comportant la réalisation d'un mélange gazeux primaire comportant un gaz neutre et ledit silane, la teneur en silane du mélange gazeux primaire étant inférieure à la limite d'auto-inflammation du silane considéré dans l'air, et la réalisation d'un mélange entre le mélange gazeux primaire et un courant dudit gaz porteur et le cas échéant d'un courant dudit gaz oxydant, dans des proportions permettant d'obtenir le mélange final requis, le mélange étant effectué en mode dynamique.par.