发明名称
摘要
申请公布号 JP2775452(B2) 申请公布日期 1998.07.16
申请号 JP19890013092 申请日期 1989.01.24
申请人 SHINDENGEN KOGYO KK;HIGASHINE SHINDENGEN KK 发明人 ENDO MASAHIRO
分类号 H01L29/73;G05F1/613;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/822 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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