| 摘要 |
본 고안은 반도체 제조용 스탭퍼 X-Y 스테이지에 관한 것으로 특히, 웨이퍼를 고정할 수 있도록 하는 웨이퍼척이 안치되는 안치대와, 이 안치대를 전, 후, 좌, 우로 이동 시킬 수 있도록 서로 직교할 수 있도록 하며 판상의 몸체의 상부면에 종으로 마련된 복수의 레일과 이 레일을 상부에 마련된 이송판을 가지는 이동수단과, 이 이동수단의 레일과 안치대 및 이송판의 마찰에 의한 마모를 방지하며 위치조절이 가능하도록 된 완충수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 스탭퍼 X-Y 스테이지를 제공하여 완충수단의 위치 조절이 가능하여 레일에 국부적인 마모가 발생되지 않아 편평성을 확보할 수 있어, 웨이퍼의 모서리부분의 노광시에 불필요한 작업을 동반하지 않고 포커싱이 원활하게 이루어질 수 있다. |
