| 摘要 |
<p>반도체 웨이퍼를 적재장치로부터 인출하여 소정의 작업공정으로 이송시키는 반도체 웨이퍼 이송장치가 개시된다. 개시된 이송장치는 한쌍의 가이드아암(30)에 반도체 웨이퍼가 안착되는 수평면(31)과, 그 수평면(31)과 수직되게 형성되어 수평면(31)에 안착된 반도체 웨이퍼의 가장자리와 접촉하는 수직면(32)이 각각 마련되고, 가이드아암(30)의 일측에는 그 한쌍의 가이드 아암(30)을 상호 대향되게 이동시키는 액츄에이터(50)가 구비되어, 수평면(31)에 반도체 웨이퍼가 안착된 후 한쌍의 가이드 아암(30)을 서로 접근 및 이격되게 이동시킴으로써 수직면(32)이 반도체 웨이퍼를 일정 위치로 가이드하도록 된 것을 특징으로 한다.</p> |
