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发明名称 WAFER PARTICLE DETECTOR
摘要
申请公布号 KR0141200(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940008857 申请日期 1994.04.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 JEON, PHIL-KWON;SHIN, HAE-JIN;KIM, JONG-SOO
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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