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发明名称 WORKPIECE CUTTING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0142223(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19910022542 申请日期 1991.12.10
申请人 DISCO CORPORATION CO.,LTD 发明人 YUKAWA, ISAO;YOSHII, MASAHIRO;SEKIYA, KAZUMA
分类号 B23Q17/24;B27B31/06;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/301;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/78 主分类号 B23Q17/24
代理机构 代理人
主权项
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