发明名称 METHOD OF FORMING IN METAL THIN FILM FRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR0141966(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940026004 申请日期 1994.10.11
申请人 LG SEMICON CO.,LTD 发明人 LEE, SHI-WOO;LEE, GI-HO
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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