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发明名称 AN APPARATUS FOR REMOVING FOREIGN PARTICLES AND THE METHOD
摘要
申请公布号 KR0141659(B1) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 KR19940017290 申请日期 1994.07.18
申请人 HITACHI SEISAKUSYO CO.,LTD 发明人 OTSUBO, TORU;SUZUKI, YASUMICHI;SASAKI, SHINJI;OHARA, KAZUHIRO;SASAKI, ICHIROU
分类号 C23C14/56;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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