| 发明名称 |
Optical arrangement for exposure apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0537015(B1) |
申请公布日期 |
1998.07.15 |
| 申请号 |
EP19920309203 |
申请日期 |
1992.10.08 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MIYAKE, AKIRA;WATANABE, YUTAKA |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20;G21K1/06 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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