| 摘要 |
<p>현재 X-선 반도체 노광장치의 개발이 한창 진행되고 있으며 그 결과가 기대되고 있다. 이 X-선 노광장치중 핵심 기술로 여겨지는 것이 바로 X-선용 마스크의 제작인데 그 제조가 매우 까다롭기 때문이다. 그러나 어렵게 제조된 X-선용 마스크는 특별한 케이스없이 보관되고 있으며 이 또한 향상된 마스크 제조에 나쁜 영향을 주고 있는 게 사실이다. 따라서 이러한 X-선용 마스크 보관 및 운반 케이스가 필요하게 되었으며 실제 X-선용 마스크 제작을 토대로 본 케이스를 고안하게 되었다. 케이스 하부와 상부를 중심으로 아래에 방진재(방진스폰지)로 X-선용 마스크를 보호하고 상부의 홀더가 마스크 쿼츠를 지지하여 주므로 운반 및 보관에 매우 효과적이며 잠금장치의 구조 또한 일반적인 케이스와 달리 X-선용 마스크에 충격을 주지 않게 설계되었다. 본 고안은 깨지기 쉬우며 먼지에 쉽게 오염될 수 있는 X-선 반도체 노광장치용 마스크를 좀더 안전하고 깨끗하게 보관, 운반할 수 있도록 고안한 것으로 이는 현재 연구 단계인 X-선 반도체 노광 분야에서 널리 사용될 수 있을 뿐 아니라 실용화되어서도 사용 가능한 제품으로 생각된다.</p> |
