배기구 연결관

摘要

본 고안은 반도체 제조 장비의 배기구 연결관에 관한 것으로, 배기관의 측면에 N개스 주입구를 형성하고 상기 배기구 연결관의 측면에 N개스 주입관을 형성하여 N개스 공급 라인에 연결하며, N개스 주입관을 통해 상기 배기관 내부에 N개스가 주입되도록 하여 소스가 배기관을 통하여 배기 덕트로 용이하게 배출되도록 하는 배기구 연결관에 관한 것이다.