| 发明名称 |
CONTROL SYSTEM OF CETHRATE FOR REACTIVE ION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0140653(B1) |
申请公布日期 |
1998.07.15 |
| 申请号 |
KR19940037781 |
申请日期 |
1994.12.28 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS CO.,LTD |
发明人 |
YUN, HAG-SUN |
| 分类号 |
H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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