| 摘要 |
본 고안은 웨이퍼 검사용 프로브카드에 관한 것으로, 종래에는 니들이 지지대에 고정되어 있어서, 다수개의 니들 중 마모되거나 파손된 특정 니들을 교체하는 것이 불가능하여 프로브카드 전체를 폐기하게 됨으로서 그로인한 생산원가가 상승하게 되는 문제점이 있었다. 본 고안 웨이퍼 검사용 프로브카드는 인쇄회로기판의 하면에 설치된 지지대에 다수개의 삽입홀을 형성하고, 그 삽입홀의 일측에 설치된 소켓에 니들을 착, 탈가능하도록 설치하여, 특정 니들의 마모 또는 파손 발생시 그 니들을 소켓에서 빼내고 다른 니들을 삽입하여 사용함으로서, 종래와 같이 하나의 니들이 파손되어도 프로브카드 전체를 폐기시키는 것을 방지하게 되어 원가절감이 되는 효과가 있고, 또한 다수개의 삽입홀에 다른 종류의 디바이스를 제조하기 위한 웨이퍼의 검사에 맞도록 니들을 설치할 수 있도록 함으로서 1개의 프로브카드로 여러 종류의 디바이스 제조용 웨이퍼를 검사할 수 있는 효과가 있다. |
