| 发明名称 |
FABRICATION METHOD OF TARGET FOR SPUTTURING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0141194(B1) |
申请公布日期 |
1998.07.15 |
| 申请号 |
KR19940013124 |
申请日期 |
1994.06.10 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD |
发明人 |
BAK, CHONG-RUL |
| 分类号 |
C04B35/00;C01F11/06;C22C32/00;C23C14/34;C30B23/00;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/363 |
主分类号 |
C04B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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