| 摘要 |
본 고안은 반도체 웨이퍼 제조용 어닐링 노에 관한 것으로, 종래에는 가열된 웨이퍼를 대기중에서 냉각하기 때문에 원치 않는 반응이 일어나는 문제점이 있었다. 본 고안 반도체 웨이퍼 제조용 어닐링 노는 히터블럭의 외측에 상, 하방향으로 수개의 쿨링자켓을 설치하여, 가열된 웨이퍼들을 쿼츠튜브의 내부에 위치시킨 상태에서 쿨링자켓을 이용하여 냉각을 실시하므로, 종래와 같이 대기중에서 냉각시 원치않는 반응이 일어나는 것을 방지하게 되어 웨이퍼의 품질저하를 방지하는 효과가 있고, 폭발성가스를 사용하는 경우에는 가스를 쿼츠튜브의 외부로 방출하는 동안 냉각을 실시하게 되므로 시간의 절감에 따른 생산성이 향상되는 효과가 있다. |
