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发明名称 VORRICHTUNG ZUR PLASMAERZEUGUNG
摘要
申请公布号 AT168239(T) 申请公布日期 1998.07.15
申请号 AT19950906899T 申请日期 1995.02.01
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 BAENZIGER, ULRICH;NEUMANN, GEROLD;SCHEER, HELLA-C.
分类号 H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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