| 发明名称 |
COMPENSATED SCAN WAVE FORM GENERATOR FOR ION TMPLANTATION EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0142431(B1) |
申请公布日期 |
1998.07.15 |
| 申请号 |
KR19890007382 |
申请日期 |
1989.05.31 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC CO.,LTD |
发明人 |
FISHER, PETER ALLEN |
| 分类号 |
H01J37/248;H01J37/147;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/147;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/248 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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